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      產品中心
      CG真空高低溫探針臺
      • 名稱:CG真空高低溫探針臺
      • 型號:CG
      • 品牌:SEMISHARE
      • 描述:CG高低溫真空探針臺是SEMISHARE多年來技術積累的創新成果,同時SEMISHARE也是國內率先自主研發推出的高低溫...
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      產品概述
      主要特點
      選型指南
      資料下載

      產品概要

      CG高低溫真空探針臺是SEMISHARE多年來技術積累的創新成果,同時SEMISHARE也是國內率先自主研發推出的高低溫真空探針臺,CG高低溫真空探針臺能夠實現樣品在真空高低溫環境下的精確電性、光強、波長、磁場等測試,其在超低溫,超高真空,自動控制,激光模擬方面發揮著技術優勢。


      基本信息

      產品型號 CG-O-4 工作環境 高低溫真空環境
      電力需求 AC220V,50~60HZ 操控方式 手動探針臺
      產品尺寸 1100*1100*530mm 設備重量 約190KG


      應用方向

      CG高低溫真空探針臺在高低溫真空環境下的芯片測試、LD/LED/PD測試、光纖光譜特性測試、材料/器件的IV/CV特性測試、霍爾測試、電磁輸運特性、高頻特性測試等


      技術特點

      真空腔體

      真空腔體采用外腔和屏蔽腔雙腔體結構,為樣品測試提供極限壓力為10-4Pa的真空環境。低溫測試時,避免空氣中的水蒸氣在樣品上凝結成露水,從而避免漏電過大或探針無法接觸電極而使測試失敗。同時,由于真空絕熱作用可是有效的提供制冷效率。高溫測試時,避免了空氣中的氧氣氧化樣品,從而避免樣品電性誤差、物理和機械上的形變。

      探針臂XYZ調節機構

      探針臂XYZ調節機構采用了自鎖絲杠和交叉滾子導軌的結構,實現了探針定位精確為10um,探針漂移量優于±60nm/30mins的高精度點針。同時,采用三軸管狀夾具和高屏蔽功能的三軸線纜,從而實現測試漏電精度達50FA。

      探針熱沉設計,定位更精準

      SEMISHARE直流探針臂均配有兩次熱沉設計,第一次探針臂熱沉在防輻射屏上、第二次探針通過陶瓷夾具熱沉在樣品臺上。SEMISHARE的熱沉設計能夠有效的降低探針臂與測試器件的溫差,提高了測試數據的精確性。

      顯微鏡調節機構

      顯微鏡調節機構通過調節支撐架的伸縮、高低以及顯微鏡自帶調節座,可觀測樣品任意區域。20倍目鏡和0.8倍-5倍的物鏡變焦倍率,從而實現樣品16X-100X的放大倍率。

      制冷劑流量調節系統

      制冷劑調節系統由杜瓦罐、壓縮氮氣壓力控制閥及精密調節的針閥組成??刂频蜏貢r,通過調節壓縮氮氣壓力控制閥來調節杜瓦罐中的壓力,從而控制制冷劑流出的壓力,繼而調節制冷劑的流量;通過調節精密針閥進而精密控制制冷的流量,最終實現精準的低溫控溫功能。

      制冷劑同軸回路

      制冷劑同軸回路使制冷劑從中間進入管路進入樣品臺,流經屏蔽腔底板腔室,在回流至同軸回路外層回流管中,最后通過排氣口排放到室外。制冷劑同軸回路使得制冷劑在排出的過程中加以利用,營造相對室溫低很多的環境,抑制了進入樣品臺的制冷劑的提前消耗,從而提高制冷劑的制冷效率,較少制冷劑的消耗。

      防震平臺

      防震系統采用空氣彈簧式支撐架的防震平臺。通過空氣彈簧的形狀、材質、彈簧室的容積及補助罐容積、阻尼孔徑和水平調節閥等一系列減震設計,實現該系統垂直本征頻率為1.5Hz,水平本征頻率為1.2Hz的低頻固有頻率,承重達400Kg的承載能力。從而有效避免細微低頻率頻帶的振動給測試帶來的不利影響。

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